一种LED基板的研磨抛光系统

摘要

本实用新型公开了一种LED基板的研磨抛光系统，包括抛光研磨机和抛光液回收槽，抛光液回收槽通过管道依次连接粗滤器、计量泵和精滤器；粗滤器与计量泵之间设置控制阀；精滤器的出料口与抛光研磨机的进料口管道连接，精滤器和抛光研磨机之间设置开关阀。其中精滤器包括壳体和微孔折叠滤芯。所述的微孔折叠滤芯为聚四氟乙烯膜滤芯，过滤孔径为0.5-1μm。本实用新型将使用过的抛光液经过多层次的过滤，特别是采用聚四氟乙烯膜滤芯的精滤器，使得使用过的抛光液杂质得到最大限度的清除，有效的保证了抛光液的稳定性，从而保证了下一次使用的质量，实现了抛光液的循环使用和稳定性。且本实用新型结构简单，便于操作。

主权项

一种LED基板的研磨抛光系统，包括抛光研磨机和抛光液回收槽，其特征是：所述的抛光液回收槽通过管道依次连接粗滤器、计量泵和精滤器；所述的粗滤器与计量泵之间设置控制阀；所述的精滤器的出料口与抛光研磨机的进料口管道连接，精滤器和抛光研磨机之间设置开关阀。