| 摘要 |
1. Голографический электронный микроскоп, содержащий соосно расположенные источник излучения, приемник излучения, подложку для установки исследуемого объекта, и преобразователь, отличающийся тем, что в качестве источника излучения использован автокатод, расстояние между которым и исследуемым объектом не более 50 нм, отношение расстояния от исследуемого объекта до приемника излучения и расстояние от автокатода до исследуемого объекта не менее 10, в качестве приемника излучения использован детектор низкоэнергетического электронного пучка, который выполнен в виде микроканальной пластины с коэффициентом усиления не менее 10, и люминофорного экрана, нанесенного на волоконо-оптический диск толщиной не более 5 мм, с расстоянием между ними не более 1 мм, источник излучения, приемник излучения, подложка для установки исследуемого объекта расположены в вакуумной камере с рабочим вакуумом не менее 10мм рт.ст., а между исследуемым объектом и детектором низкоэнергетического электронного сигнала расположен экранирующий цилиндр.2. Голографический электронный микроскоп по п.1, отличающийся тем, что вакуумная камера имеет закрывающиеся смотровые окна, расположенные на уровне автокатода и люминофорного экрана.3. Голографический электронный микроскоп по п.1 или 2, отличающийся тем, что экранирующий цилиндр выполнен из пермоллоя. |
