图案判定装置以及计算机程序

摘要

本发明的目的在于，提供一种与图案的形成状态或者图像的取得条件无关地、稳定地进行在试样上形成的凹凸的识别的试样的凹凸判定装置以及计算机程序。作为为了达成上述目的的一个方式，提出了一种针对基于通过对试样的带电粒子线的扫描而得到的检测信号而形成的曲线，求出某阈值以下的曲线波形所形成的多个区域的面积，将与该面积相对较大的区域相当的部位判定为凹部或者空白部，以及/或者将与该面积相对较小的空间相当的部位判定为凸部或者线条部的装置以及计算机程序。

主权项

一种试样的凹凸判定装置，其具备运算装置，所述运算装置基于根据通过对试样的带电粒子线的扫描而得到的检测信号而形成的曲线，来进行所述试样的凹部判定以及/或者凸部判定，所述试样的凹凸判定装置的特征在于，该运算装置，求出第1阈值以下的曲线波形所形成的多个区域的面积，将与该面积相对较大的区域相当的部位判定为凹部或空白部、以及/或者将与该面积相对较小的区域相当的部位判定为凸部或线条部。