抛光头

摘要

本发明公开了一种抛光头。所述抛光头包括气缸、旋转基盘组件、固定盘组件、吸附盘组件和保持环组件。气缸包括：缸体，缸体内具有腔室，缸体上设有分别与腔室连通的第一和第二进气通道，第一和第二进气通道适于与气源相连；活塞，活塞设在腔室内以将腔室分隔为上子腔室和下子腔室，其中第一进气通道与上子腔室连通且第二进气通道与下子腔室连通；和活塞杆，活塞杆设在腔室内且活塞杆的下端伸出缸体，活塞杆与活塞相连以便在活塞的带动下上下移动。根据本发明实施例的抛光头不仅可以带动晶圆上下移动，而且可以传递较大的扭矩。

主权项

一种抛光头，其特征在于，包括：气缸，所述气缸包括：缸体，所述缸体内具有腔室，所述缸体上设有分别与所述腔室连通的第一和第二进气通道，所述第一和第二进气通道适于与气源相连；活塞，所述活塞设在所述腔室内以将所述腔室分隔为上子腔室和下子腔室，其中所述第一进气通道与所述上子腔室连通且所述第二进气通道与所述下子腔室连通；和活塞杆，所述活塞杆设在所述腔室内且所述活塞杆的下端伸出所述缸体，所述活塞杆与所述活塞相连以便在所述活塞的带动下上下移动，其中所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的一个上设有凹槽，所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的另一个上设有配合在所述凹槽内的凸起，所述凹槽的形状与所述凸起的形状适配以便所述缸体带动所述活塞杆旋转;旋转基盘组件，所述旋转基盘组件与所述活塞杆相连以在所述活塞杆的带动下旋转和上下移动；固定盘组件，所述固定盘组件与所述旋转基盘组件相连以在所述旋转基盘组件的带动下旋转和上下移动；吸附盘组件，所述吸附盘组件与所述固定盘组件相连以在所述固定盘组件的带动下旋转和上下移动；以及保持环组件，所述保持环组件与所述固定盘组件相连且绕所述吸附盘组件设置。