五氟化磷气体发生器

摘要

本实用新型为五氟化磷气体发生器，机架相对应位置上分别装有第一支撑座、第二支撑座，罐体沿重心水平中心线的两端分别通过第一旋转轴头、第二旋转轴头安装在第一支撑座、第二支撑座上，第一旋转轴头通过蜗轮蜗杆减速机受旋转电动机带动，罐体罐口处有密封罐盖，支承在罐体搅拌轴轴承中的搅拌轴的第一端通过搅拌减速机受搅拌电动机带动而伸入罐体中的第二端端头装有搅拌桨，位于搅拌桨上端的破拱桨装在搅拌轴上，罐体上装有加热元件、测温元件，保温套套在罐体外周边上，罐体上有进气体通道和五氟化磷气体输出管道。本实用新型结构简单，生产过程安全、可控，成本低，收得率高。

主权项

五氟化磷气体发生器，其特征在于机架相对应位置上分别装有第一支撑座、第二支撑座，罐体沿重心水平中心线的两端分别通过第一旋转轴头、第二旋转轴头安装在第一支撑座、第二支撑座上，第一旋转轴头通过蜗轮蜗杆减速机受旋转电动机带动，罐体罐口处有密封罐盖，支承在罐体搅拌轴承中的搅拌轴的第一端通过搅拌减速机受搅拌电动机带动而伸入罐体中的第二端端头装有搅拌桨，位于搅拌桨上端的破拱桨装在搅拌轴上，罐体上装有加热元件、测温元件，保温套套在罐体外周边上，罐体上有进气体通道和五氟化磷气体输出管道。