真空气相沉积设备

摘要

一种真空气相沉积设备，包括蒸发容器，该蒸发容器具有线性设置的多个直径相同的排放孔，并且其中排放孔在蒸发容器的两个端部侧上密集设置。蒸发容器在其中包括具有多个直径相同的通孔的射流板，蒸发材料的蒸汽通过多个直径相同的通孔。通孔以下述方式密集设置在两个端部侧上，作为沿排放孔的设置方向的每单位长度的流导，通过所述通孔的流导形成为与通过所述排放孔的流导成比例。

主权项

一种真空气相沉积设备，包括直线形蒸发容器，该蒸发容器具有线性设置的多个排放孔，并且该蒸发容器通过两个端部侧上的所述排放孔的流导较大，并且其中，所述蒸发容器被加热，以蒸发或升华包含在其中的蒸发材料，所述蒸发材料的蒸汽通过所述多个排放孔释放，并且通过沿垂直于所述多个排放孔的设置方向的方向相对移动基板和所述蒸发容器，所述蒸发材料沉积在所述基板的整个表面上，该真空气相沉积设备包括：所述蒸发容器在其中包括具有通过所述蒸汽的多个通孔且直接面对蒸发材料的射流板，并且作为沿所述多个排放孔的所述设置方向的每单位长度的流导，通过所述通孔的流导形成为与通过所述排放孔的流导成比例；其中，从所述排放孔至所述射流板的距离H2与所述蒸发容器内部的高度H1的比率[H2/H1]设为0.6或更小。