仪用高准确度二级串联闭环稳压气体源

摘要

本发明涉及一种仪用高准确度二级串联闭环稳压气体发生装置。在本发明中，气源供给装置提供的压缩空气首先经过气体净化装置的作用，滤除水、油等杂质；后流经第一电/气伺服阀进入第一控制回路，得到0.8Mpa的稳定压力气体；再经过第二电/气伺服阀进入第二控制回路，得到人为设置压力大小的稳定压缩空气，范围在0.2Mpa～0.6Mpa之间。本发明可以实时检测储气罐中气体的压力大小，并通过闭环反馈将最终的气压波动控制在一个较小的阈值范围内，以期在流量较大的情况下为后续实验设备提供纯净、精密、稳定的气源。

主权项

仪用高准确度二级串联闭环稳压气体源，其特征在于：包括气源供给装置、气体净化装置、第一电/气伺服阀、第二电/气伺服阀、第一控制回路和第二控制回路；气源供给装置提供的压缩空气首先经过气体净化装置的作用，滤除水、油杂质；后流经第一电/气伺服阀进入第一控制回路，得到0.8Mpa的稳定压力气体；再经过第二电/气伺服阀进入第二控制回路，得到人为设置压力大小的稳定压缩空气；所述第一控制回路包括储气罐、压力传感器、A/D模块、D/A模块和计算机；第一电/气伺服阀安装在储气罐的进气口处，压力传感器通过螺纹连接安装在第一储气罐的引压管上，其敏感元件与储气罐内压缩空气相通；压力传感器的信号输出端与A/D模块的输入端相连，A/D模块的输出端与计算机相连，计算机通过D/A模块发送控制信号至第一电/气伺服阀的信号输入端；所述第二控制回路与第一控制回路的结构完全相同，第一储气罐的出气口与第二电/气伺服阀的进气口相接，进而连接控制第二控制回路；第二控制回路中的储气罐的出气口连接所需的实验设备。