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发明名称 OPTICAL DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR20130079603(A) 申请公布日期 2013.07.10
申请号 KR20137013112 申请日期 2007.07.06
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 OWA SOICHI;SUZUKI JUNJI
分类号 G02B26/08;G02B5/08 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
主权项
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