一种二维解耦运动平台

摘要

本发明提出了一种二维解耦运动平台，包括固定平台座、设置于固定平台座上的移动平台，移动平台包括横向移动平台和纵向移动平台，横向移动平台包括四个横向柔性杆、横向弹性件、横向压电陶瓷致动器，横向柔性杆设置于横向移动平台四周，横向弹性件设置于横向移动平台一侧，横向压电陶瓷致动器与横向弹性件对称设置；纵向移动平台包括四个纵向柔性杆、纵向弹性件、纵向压电陶瓷致动器，纵向柔性杆设置于纵向移动平台四周，纵向弹性件设置于纵向移动平台一侧，纵向压电陶瓷致动器与纵向弹性元件对称设置。本发明利用压电陶瓷致动器直接驱动获得纳米级位移输出，弹性件提高运动平台刚度，利用柔性机构传递运动，实现可靠的高刚度二维解耦定位运动。

主权项

一种二维解耦运动平台，包括固定平台座、设置于所述固定平台座上的移动平台，其特征在于：所述移动平台包括横向移动平台和纵向移动平台，所述横向移动平台包括四个横向柔性杆、横向弹性件、横向压电陶瓷致动器，所述横向柔性杆设置于所述横向移动平台四周，所述横向柔性杆与所述纵向移动平台连接，所述横向弹性件设置于所述横向移动平台一侧，所述横向压电陶瓷致动器与所述横向弹性件对称设置，所述横向压电陶瓷致动器外部设置有横向电阻应变片；所述纵向移动平台包括四个纵向柔性杆、纵向弹性件、纵向压电陶瓷致动器，所述纵向柔性杆设置于所述纵向移动平台四周，所述纵向柔性杆与所述横向移动平台连接，所述纵向弹性件设置于所述纵向移动平台一侧，所述纵向压电陶瓷致动器与所述纵向弹性元件对称设置，所述纵向压电陶瓷致动器外部设置有纵向电阻应变片。