发明名称 |
石英玻璃坩埚用盖、石英玻璃坩埚及其使用处理方法 |
摘要 |
本发明通过提供一种避免坩埚原料粉末侵入到坩埚内表面的方法,可靠地避免到坩埚的实际使用时期为止异物侵入到石英玻璃坩埚内部,从而能够在不受污染状态下使用处理坩埚。一种安装在石英玻璃坩埚(1)的开口部(2)上的盖(3),其具有紧密接合在所述开口部(2)的外周端(2a)上的凸缘部(4)。 |
申请公布号 |
CN102171388B |
申请公布日期 |
2013.07.10 |
申请号 |
CN201080002771.4 |
申请日期 |
2010.06.01 |
申请人 |
日本超精石英株式会社;胜高股份有限公司 |
发明人 |
佐藤贤;大原真美;高濑伸光 |
分类号 |
C30B15/10(2006.01)I;B65D43/02(2006.01)I;B65D77/20(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/10(2006.01)I |
代理机构 |
上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 |
代理人 |
翟羽 |
主权项 |
一种石英玻璃坩埚用盖,其安装在石英玻璃坩埚的开口部,其特征在于:所述盖具有紧密接合在所述开口部的外周端上的凸缘部及相接于所述开口部周端面的区域的粘接构件。 |
地址 |
日本秋田縣秋田市茨島五丁目14番3號 |