一种活性气体流的发生装置及其产生活性气体流的方法

摘要

本发明提供一种活性气体流发生装置，包括：介电材料管，其内部流过工作气体；高压电极，与介电材料管相接触，并连接到交流电压源；第一地电极，在高压电极的下游与介电材料管相接触，其中所述交流电压源向高压电极提供低于预定阈值电压的电压，以产生活性气体流。本发明还提供一种产生活性气体流的方法，包括：向介质材料管中通入工作气体；向高压电极上施加一低于阈值电压的电压，以使得介电材料管的出口流出中性活性气体。

主权项

一种活性气体流发生装置，包括：介电材料管，其内部流过工作气体；高压电极，与介电材料管相接触，并连接到交流电压源；第一地电极，在高压电极的下游与介电材料管相接触，其中所述交流电压源向高压电极提供低于预定阈值电压的电压，以产生中性活性气体流，其中所述预定阈值电压是指放电等离气体区的边界缩回到所述介电材料管出口时所对应的电压。