半导体设备软件故障报警方法

摘要

本发明公开一种半导体设备软件故障报警方法，该方法包括包括如下步骤：在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集；对收集的现场半导体设备实时数据进行报警配置；通过报警信息配置接口还对报警预定值进行配置，在数据库中形成报警监视表；对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算；对计算后的报警信息同时存储于缓冲区与报警服务器的数据库的报警信息列表中；然后对缓冲区中存储的报警信息进行报警信息处理，通过实时报警信息接口和历史报警接口输送到报警控件中并集成在界面上。采用本发明可实现对半导体设备软件故障的正确报警，能够满足半导体器件制造过程中的工艺要求。

主权项

一种半导体设备软件故障报警方法，包括如下步骤：在实时数据服务器中使用实时数据库收集监视模块对监视的实时数据进行收集；其特征在于对收集的现场半导体设备实时数据进行报警配置；通过报警信息配置接口还对报警预定值进行配置，形成报警监视表，该表存在于数据库中；对收集来的实时数据和报警监视表中的数据进行报警信息计算；对计算后的报警信息建立报警信息列表，同时存储于缓冲区与报警服务器的数据库中；对缓冲区中存储的报警信息进行报警信息处理，通过实时报警信息接口将处理后的恢复信息输送到报警控件中并集成在界面上；对数据库中的报警信息，直接通过历史报警接口输送到报警控件中并集成在界面上。