基板传送系统及传送方法

摘要

本发明公开了一种基板传送系统及传送方法。该基板传送系统包括：基板处理平台，其包括第一基板处理平台和第二基板处理平台；基板出口平台，用于输出基板；基板传送平台，设置于第一基板处理平台和第二基板处理平台之间，用于接收来自基板处理平台的基板；基板承载平台，与基板传送平台相邻设置，用于接收来自基板传送平台的基板；以及基板运送中转平台，与基板出口平台平行设置，用于接收来自基板承载平台的基板并将基板传送至基板出口平台。通过上述方式，本发明能够快速地传送基板，缩短基板的传送周期，提高生产效率。

主权项

一种基板传送系统，包括：基板处理平台，其包括第一基板处理平台和第二基板处理平台；基板出口平台，用于输出所述基板；其特征在于，所述基板传送系统进一步包括：基板传送平台，所述基板传送平台设置于所述第一基板处理平台和所述第二基板处理平台之间，用于接收来自所述基板处理平台的基板；基板承载平台，所述基板承载平台与所述基板传送平台相邻设置，用于接收来自所述基板传送平台的基板；以及基板运送中转平台，所述基板运送中转平台与所述基板出口平台平行设置，用于接收来自所述基板承载平台的基板并将所述基板传送至所述基板出口平台；其中，所述基板传送平台包括第一承载台、第一传送机构以及第二传送机构，所述基板承载平台包括第二承载台，所述第一传送机构将所述第一承载台传送到所述第二承载台的上方，所述第二传送机构将所述第一承载台从所述第二承载台的上方传送到所述第二承载台的下方，以将支撑于所述第一承载台上的基板放置于所述第二承载台上。