| 摘要 |
1. Система очистки парогазовой смеси продуктов реакции гидрохлорирования кремния при синтезе трихлорсилана от примесей, содержащая блок сухой очистки, включающий набор последовательно установленных циклонов и средства подвода парогазовой смеси из реактора синтеза, а также блок мокрой очистки, отличающаяся тем, чтоблок сухой очистки содержит первичный циклон для очистки парогазовой смеси от крупных твердых частиц примесей, соединенный с первичным сборником твердых частиц,а также связанный с ним вторичный циклон для последующей очистки парогазовой смеси от твердых частиц примесей меньшего размера, соединенный со вторичным сборником твердых частиц,где первичный сборник твердых частиц связан с реактором синтеза для возврата собранных твердых частиц на стадию гидрохлорирования кремния, а также накопителем твердых частиц, не пригодных к возврату на повторное гидрохлорирование,вторичный сборник твердых частиц связан с накопителем твердых частиц, не пригодных к возврату на повторное гидрохлорирование,при этом система выполнена с возможностью распределения твердых частиц из первичного сборника между реактором синтеза и накопителем твердых частиц.2. Система по п.1, отличающаяся тем, что распределение твердых частиц из первичного сборника между реактором синтеза и накопителем твердых частиц осуществляется автоматически или вручную.3. Система по п.2, отличающаяся тем, что автоматическое распределение твердых частиц осуществляется при помощи автоматически регулируемых клапанов.4. Система по п.2, отличающаяся тем, что ручное распределение твердых частиц осуществляется оператором.5. Система по п.1, отличающа� |
