发明名称 Method for polishing the gallium nitride plates, especially for the epi-ready quality
摘要 Przedmiotem wynalazku jest sposób polerowania plytek z azotku galu, w którym wspomniane plytki umieszcza sie na tarczy polerskiej zaopatrzonej w sukno polerskie, a nastepnie poleruje sie obracajac tarcze polerska i przykladajac do wspomnianych plytek nacisk, charakteryzujacy sie tym, ze wspomniane sukno polerskie jest suknem twardym, oraz w trakcie polerowania w sposób ciagly na sukno polerskie podawane sa nastepujace reagenty: roztwór wodny FeCl2, roztwór wodny H2O2 oraz roztwór wodny NH4CL.
申请公布号 PL397556(A1) 申请公布日期 2013.07.08
申请号 PL20110397556 申请日期 2011.12.28
申请人 AMMONO SPOLKA AKCYJNA 发明人 KUCHARSKI ROBERT;KOROLCZUK WERONIKA;GWARDYS ANNA;SKLADANOWSKI JAROSLAW;MADRY PIOTR
分类号 C30B33/00;C30B33/08 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
主权项
地址