发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE MULTICOUCHE SUR UN SUPPORT
摘要 <p>L'invention concerne un procédé de fabrication d'une structure multicouche sur un premier support (30) en un premier matériau ayant un premier module d'Young. Le procédé comprend le fait de prévoir un second support (12) recouvert de la structure multicouche, la structure multicouche ayant une face (28) plane opposée au second support, le second support étant en un second matériau ayant un second module d'Young différent du premier module d'Young ; l'application à ladite face de premières déformations ; la réalisation d'un collage moléculaire du premier support sur ladite face, le collage moléculaire entraînant l'apparition de secondes déformations dans ladite face en l'absence des premières déformations, les premières déformations étant opposées aux secondes déformations ; et le retrait du second support, les déformations résultantes dans ladite face étant inférieures à 5 ppm.</p>
申请公布号 FR2985370(A1) 申请公布日期 2013.07.05
申请号 FR20110062524 申请日期 2011.12.29
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 ROSSINI UMBERTO;ELEOUET RAPHAEL;FLAHAUT THIERRY
分类号 H01L21/98;B32B7/10 主分类号 H01L21/98
代理机构 代理人
主权项
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