MEMS-Beschleunigungssensor

摘要

Ein MEMS-Beschleunigungssensor weist ein Substrat (7) und eine parallel zu dem Substrat (7) in einer x-y-Ebene angeordnete Sensormasse (2) auf, wobei die Sensormasse (2) um eine Drehachse (6) drehbar auf dem Substrat (7) befestigt ist und eine Vielzahl von Löchern (9) aufweist und das Gewicht der Sensormasse (2) auf den beiden Seiten der Drehachse (6) unterschiedlich ist, sowie Sensorelemente (8) aufweist zum Erfassen einer Drehbewegung der Sensormasse (2) um ihre Drehachse (6). Zur Veränderung des Gewichts der Sensormasse (2) auf einer Seite der Drehachse (6) im Vergleich zur anderen Seite der Drehachse (6) ist zur Reduzierung des Gewichts der Sensormasse (2) Material der Sensormasse (2) im Bereich einiger der Löcher (9) teilweise entfernt und/oder Material der Sensormasse (2) ist zur Erhöhung des Gewichts der Sensormasse (2) in z-Richtung, insbesondere zur Verlängerung der Löcher (9), hinzugefügt.