Beschichtungsanlage mit Einrichtungen für Prüf- und Serviceroutinen und Verfahren zum Durchführen von Prüf- und Serviceroutinen bei Beschichtungsanlagen

摘要

Verfahren zur Durchführung einer Prüfroutine für zumindest eine Komponente einer Vakuumbeschichtungsanlage (1), bei welchem während einer Ruhezeit zumindest eines Teil-Fertigungsprozesses eine Wartungsroutine oder eine Überprüfung einer an diesem Teil-Fertigungsprozess beteiligten Komponente (7, 10, 20, 30) automatisch und selbständig vorgenommen und bei einer Abweichung wenigstens eines ermittelten Prüfparameters von einem Sollbereich oder einer festgestellten Fehlfunktion der Komponente (7, 10, 20, 30) eine Warnmeldung (310, 610) generiert wird, wobei zumindest ein während der Überprüfung aufgezeichneter Messwert mit abgespeicherten Daten verglichen und eine Warnmeldung (310, 610) erzeugt wird, wenn anhand eines aus den gespeicherten Messwerten und des zumindest einen in der aktuellen Überprüfung gemessenen Messwertes festgestellten Trends auf eine zukünftige Fehlfunktion oder eine zukünftige Abweichung eines Prüfparameters von einem vorgegebenen Sollbereich geschlossen werden kann und wobei eine automatische, gegenseitige Überprüfung mehrerer Komponenten (20A, 20B) durchgeführt wird.