带电粒子束系统中的漂移控制

摘要

本发明的名称为带电粒子束系统中的漂移控制。本发明涉及一种用于减少带电粒子束系统中的漂移的方法和设备。所述方法包括：提供包括带电粒子束、透镜系统以及样品室的带电粒子束镜筒；在所述透镜系统与所述样品室之间布置温控装置以控制所述透镜系统与所述样品室之间的热传递；以及控制所述温控装置的温度以减少或者消除所述样品室内的样品的位置相对于所述带电粒子束的位置的热漂移。

主权项

一种用于减少带电粒子束系统中的漂移的方法，所述带电粒子束系统包括带电粒子源、用于容纳样品的样品室以及用于将带电粒子束聚焦到样品上的透镜系统，所述带电粒子束系统包括在所述透镜系统与所述样品室之间的温控装置，所述方法包括控制所述温控装置的温度以减少或者消除布置在所述样品室内的样品的位置相对于所述带电粒子束的位置的热漂移。