发明名称 用于形成氮化物晶体的方法
摘要 提供用于生长氮化物晶体的方法和选自AlN、InGaN、AlGaInN、InGaN和AlGaNInN中的一种的结晶成分。所述成分包括真的单晶,其从直径至少1mm的单核生长,没有横向应变和倾斜晶界,具有低于约104cm-2的位错密度。
申请公布号 CN103184519A 申请公布日期 2013.07.03
申请号 CN201310081062.5 申请日期 2007.10.05
申请人 迈图高新材料公司 发明人 史蒂芬·艾佛烈德·泰索;东-斯尔·帕克;约翰·托马斯·勒曼;马克·德艾芙琳;克里斯蒂·纳拉恩;慧聪·洪
分类号 C30B29/40(2006.01)I;C30B9/00(2006.01)I 主分类号 C30B29/40(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 用于生长氮化物晶体的方法,其包括:提供包含低于1重量百分比氧的AlN或InN源材料,所述AlN源材料选自单晶或多晶AlN,或AlxGa1‑x‑yInyN,其中0≤x,y,x+y≤1,和x或y的至少之一为大于0.05;提供矿化剂;任选地,提供一个以上的晶种;提供囊体;用含氮溶剂填充该囊体;在高于约550℃温度下和高于约2kbar的压力下在超临界流体中处理该囊体和内含物。
地址 美国纽约