发明名称 |
一种涂层刀片生产用装载舟皿及其应用 |
摘要 |
一种涂层刀片装载舟皿及其应用,装载舟皿包括盘形料盘和插接于料盘上表面的若干垫锥;料盘上表面设置有供各垫锥插接的若干垫锥定位孔和分布于定位孔间隙的贯穿通气孔。分体式的料盘和垫锥可使垫锥整体体积减小,最大限度的消除因装载工具占用炉内空间过大而在化学气相沉积反应过程中对气氛分配、消耗、流动所造成的影响;减小锥体底面积后可增大单层料盘上垫锥的装载量,降低垫锥装载刀片后的总体高度可实现增加炉内装舟层数,充分利用了炉内空间,增加了设备的产能。锥体底面积减小还可增加料盘开孔率,改善了炉内气体的流动性,提高了刀片涂覆的均匀性、厚度一致性。上述装载舟皿应用在涂层刀片生产中时对涂层生成反应影响小、产品质量稳定。 |
申请公布号 |
CN102534565B |
申请公布日期 |
2013.07.03 |
申请号 |
CN201210077821.6 |
申请日期 |
2012.03.22 |
申请人 |
株洲欧科亿硬质合金有限公司 |
发明人 |
王以任;尹江华;邓剑;袁美和;谭文清;黄立;熊平 |
分类号 |
C23C16/458(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/458(2006.01)I |
代理机构 |
上海硕力知识产权代理事务所 31251 |
代理人 |
王法男 |
主权项 |
一种涂层刀片生产用装载舟皿,其特征在于:所述装载舟皿包括盘形料盘和插接于料盘上表面的若干垫锥;刀片搁置于各垫锥上;所述的料盘上表面设置有供各垫锥插接的若干垫锥定位孔和分布于定位孔间隙的贯穿通气孔;所述垫锥为对称的立体形十字结构,所述垫锥上部直立柱为刀片穿插立柱,所述垫锥向左右伸出的水平杆体为刀片承载体,所述垫锥下部直立柱为用于与料盘插接的定位楔。 |
地址 |
412008 湖南省株洲市芦淞区董家塅高科技工业园创业四路八号 |