发明名称 | 石墨盘吸取装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种石墨盘吸取装置,包括吸盘体,所述吸盘体包括盘形吸附腔及围绕在盘形吸附腔吸附面周围的石英吸紧条,所述盘形吸附腔的另一侧与抽真空管体相连通。本实用新型结构简单,制造方便,在操作时稳定性能较好,不易脱离石墨盘,能够有效避免石墨盘的脱落损坏,并且能够减少作业时间,提高作业效率。 | ||
申请公布号 | CN203034094U | 申请公布日期 | 2013.07.03 |
申请号 | CN201320012266.9 | 申请日期 | 2013.01.10 |
申请人 | 合肥彩虹蓝光科技有限公司 | 发明人 | 林长军 |
分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C30B25/12(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种石墨盘吸取装置,包括吸盘体,其特征在于:所述吸盘体包括盘形吸附腔及围绕在盘形吸附腔吸附面周围的石英吸紧条,所述盘形吸附腔的另一侧与抽真空管体相连通。 | ||
地址 | 230012 安徽省合肥市新站区工业园内 |