用于测量镜子形状或镜表面形状的设备和方法

摘要

本发明涉及一种用于测量表面形状的设备。所述设备包括：具有单向设计的第一测试图案（4），所述第一测试图案被第一照明装置（7）照明，这使得形状能够沿第一方向被测量；以及第二测试图案（9），其具有垂直于第一测试图案的设计的单向设计，这使得形状能够沿垂直于第一方向的第二方向被测量。第二测试图案在与第一测试图案相同的平面上由附加照明装置（8）形成，所述第二测试图案仅在第一照明装置关闭时被照明。

主权项

一种用于测量镜子形状或镜表面（2）形状的设备（1），包括：第一单向图案平面量规（4），其将与待测量表面相距一定距离；相机（5），用于拍摄将在镜表面中反射出的像；处理装置（6），用于处理由相机记录下的信息；第一照明装置（7），用于照明整个量规，其特征在于，所述设备（1）还包括附加照明装置（8），其布置成紧密靠近且平行于量规的平面或布置在量规的实际平面中，并面向待测量表面，第一照明装置（7）和附加照明装置（8）交替地照明，以分别仅观察第一量规（4）或仅观察第二单向图案量规（9），所述第二单向图案量规基于附加照明装置（8）形成。