具多重电性通道的微机电装置及其制作方法

摘要

本发明公开一种具多重电性通道的微机电装置及其制作方法。该具多重电性通道的微机电装置包括支撑座与质量块。支撑座的绝缘层将其分成上、下导电层。隔绝沟槽设置于支撑座的下导电层且贯穿至绝缘层，将下导电层分成电性绝缘的内、外导电部。导电通孔设置于支撑座且贯穿绝缘层，并连接上导电层及外导电部。质量块的绝缘层将其分成上、下导电层。隔绝沟槽设置于质量块的下导电层且贯穿至绝缘层，并将下导电层分成电性绝缘的两个导电部。质量块的两个导电部分别电连接两个支撑座的内导电部。导电通孔贯穿绝缘层且连接质量块的上导电层及两个导电部之一。上述的微机电装置的制作方法也被提出。

主权项

一种具多重电性通道的微机电装置，包括：质量块，包含：第二绝缘层，将该质量块分隔成一基础导电层与一目标导电层；第二隔绝沟槽，设置于该目标导电层且贯穿该目标导电层至该第二绝缘层，并将该目标导电层分隔成相互电性绝缘的一第一导电部及一第二导电部；及第二导电通孔，贯穿该第二绝缘层且连接该基础导电层及该第一导电部；以及基板，包含：至少一电极块，设置于该基板的上表面；其中，在工作状态时，该基础导电层、该第二导电通孔及该第一导电部有一电流经过且该第二导电部与该电极块之间有一电位差。