真空溅镀设备的进气装置

摘要

本发明提供一种真空溅镀设备的进气装置，所述进气装置包括至少一个锥形管，所述锥形管包括小端、与小端相对的大端、及位于所述小端与大端之间的锥面，气体由所述小端通入所述锥形管，所述大端封闭，沿所述锥形管的中心轴从所述小端至大端依次在所述锥面上等间距设置有多个尺寸相同的出气通孔。本发明提供的真空溅镀设备的进气装置利用锥形管设计可以提高各出气通孔之间输出气体浓度的均匀性。

主权项

一种真空溅镀设备的进气装置，所述进气装置包括一叉形管及一气体输出管，所述叉形管包括两个锥形管及一入气端，两个所述锥形管均包括小端、与小端相对的大端、及位于所述小端与大端之间的锥面，所述小端与所述入气端相连通，气体由所述小端通入所述锥形管，所述大端封闭，沿所述锥形管的中心轴从所述小端至大端依次在所述锥面上等间距设置有多个尺寸相同的出气通孔，两个所述锥形管的小端与均与所述入气端连通，所述真空溅镀设备的进气装置还包括一矩形壳，所述矩形壳包括本体及盖板，所述锥形管沿所述矩形壳长边方向容置在所述矩形壳内，沿所述盖板上沿所述本体的长边方向等间距设置多个与所述出气通孔对应的形状相同的气孔，所述气孔与所述出气通孔对应，所述气孔与所述对应的出气通孔利用短管连通，所述本体的顶部包括通孔，所述叉形管的入气端穿过所述通孔与所述气体输出管连通。