发明名称 |
测试装置及测试方法 |
摘要 |
提供一种测试被测试设备的测试装置,包括向被测试设备的电源端子提供电力的电源部;控制电源部以多种电压电平输出电力的电源控制部;对由电源部提供到电源端子的被测试设备的静止时电流,即每个电压电平的电流值进行测量的电流测量部;以及;利用电流测量部所测量的各电压电平的电流值中至少3个电流值分析被测试设备的缺陷的有无的分析部。 |
申请公布号 |
CN102132165B |
申请公布日期 |
2013.07.03 |
申请号 |
CN200980133257.1 |
申请日期 |
2009.09.11 |
申请人 |
爱德万测试株式会社 |
发明人 |
古川靖夫 |
分类号 |
G01R31/26(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/26(2006.01)I |
代理机构 |
北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 |
代理人 |
齐永红 |
主权项 |
一种测试装置,是测试被测试设备的测试装置,其特征在于,包括:电源部,所述电源部对所述被测试设备的电源端子提供电力;电源控制部,所述电源控制部控制所述电源部以多个电压电平输出所述电力;电流测量部,所述电流测量部针对所述多个电压电平中的每个,测量静止时电流,其中,所述静止时电流是所述电源部供给到所述电源端子的所述被测试设备的电源电流,即在输入到所述被测试设备的逻辑图形跃迁之后经规定的时间后的时刻上的静止时电流;分析部,所述分析部利用所述电流测量部测量的各电压电平的电流值中至少3个电流值,分析所述被测试设备有无缺陷。 |
地址 |
日本东京都 |