用于离轴同心光学系统中同心光学元件的同心装配方法

摘要

用于离轴同心光学系统中同心光学元件的同心装配方法，涉及光学仪器领域它解决了现有离轴系统中同心光学元件的高精度同心装配难以实现且检测精度低的问题，本发明具体为：步骤一、干涉仪的光源同时发出参考光束和检测光束，所述检测光束经过标准镜头组同时入射至第一光学元件和第二光学元件，然后经第一光学元件和第二光学元件表面反射后返回至标准镜头组，所述返回至标准镜头组的检测光束与参考光束发生光干涉，形成干涉条纹；步骤二、根据步骤一所述的干涉条纹获得第一光学元件与第二光学元件的离焦量；根据离焦量的值调整第一光学元件和第二光学元件的位置，实现光学元件的同心装配本发明的光路可实施性强、精度高。

主权项

用于离轴同心光学系统中同心光学元件的同心装配方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、干涉仪（1）的光源同时发出参考光束和检测光束，所述检测光束经过标准镜头组（2）同时入射至第一光学元件（3）和第二光学元件（4），然后经第一光学元件（3）和第二光学元件（4）表面反射后返回至标准镜头组（2），所述返回至标准镜头组（2）的检测光束与参考光束发生光干涉，形成干涉条纹；步骤二、根据步骤一所述的干涉条纹获得第一光学元件（3）与第二光学元件（4）的离焦量；根据离焦量的值调整第一光学元件（3）和第二光学元件（4）的位置，实现光学元件的同心装配；步骤一所述的标准镜头组（2）为与第一光学元件（3）和第二光学元件（4）的面形、口径相匹配的标准补偿镜；步骤二所述的根据离焦量的值调整第一光学元件（3）和第二光学元件（4）的位置，具体为：当所述的第一光学元件（3）与第二光学元件（4）的离焦量之差为零或者接近于零时，实现两个光学元件的同心装配；所述第一光学元件（3）和第二光学元件（4）为面形相同的球面反射镜。