| 发明名称 | 一种EBR挡板 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种EBR挡板，包括一板体和设于所述板体同一侧面的至少一条导流槽，不仅可以对EBR清洗溶剂进行防溅，还可以防止清洗溶剂沿挡板的滴落。本实用新型的EBR挡板，通过增加导流槽，将设有导流槽的EBR挡板侧面置于清洗溶剂喷嘴侧，便于回溅的有机溶剂向晶圆外流，杜绝了有机溶剂对圆晶的污染，省却了设备维护，保证了生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN203037997U | 申请公布日期 | 2013.07.03 |
| 申请号 | CN201320017864.5 | 申请日期 | 2013.01.14 |
| 申请人 | 无锡华润上华科技有限公司 | 发明人 | 李玉华 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 常亮 |
| 主权项 | 一种EBR挡板，其特征在于：包括一板体（1）和设于所述板体（1）同一侧面的至少一条导流槽（2）。 | ||
| 地址 | 214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 | ||