聚合物微过滤器及其制造方法

摘要

一种微过滤器，包括由环氧基感光干膜形成的聚合物层和分别穿过聚合物层延伸的多个孔。还公开了一种微过滤器的形成方法。该方法包括提供设置在基底上的第一层环氧基感光干膜，将第一层通过掩模暴露在能量下，从而在第一层干膜中形成由掩模限定的图案，由暴露的第一层干膜形成含有穿过其延伸的多个孔的聚合物层，多个孔的分布由图案限定，以及从基底移除聚合物层。

主权项

一种微过滤器，包括：由环氧基感光干膜形成的聚合物层；以及分别穿过所述聚合物层延伸的多个孔。