一种检测法拉第工作状态的方法

摘要

本发明公开了一种检测法拉第工作状态的方法，该方法是在离子注入机测束法拉第上面安装状态检测装置，然后通过设定自检电路进行检测。此检测装置包括：一绝缘块盖板(1)，一绝缘块(2)，一传感铜片(3)，一绝缘块支架(4)，和一法拉第自检电路(5)。本发明能够检测法拉第是否处于正常工作状态，确保法拉第测量束流的准确性，提高了离子注入机的可靠性。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。

主权项

一种检测法拉第工作状态的方法，该方法利用检测装置安装在离子注入机的测束法拉第上，对法拉第的状态进行检测，以确保法拉第能正常进行测束工作。其特征在于：利用检测装置和电路，在法拉第测量束流前预先检测其本身状态，自检正常则可以正常测量束流，如自检为非正常状态，则法拉第已经损坏，不能正常测束或测量不准，须立即更换。避免在法拉第损坏状态下导致束流测量不准，或设备损坏等问题。