利用反射泰铂效应成像的微结构放大装置

摘要

本实用新型公开了一种利用反射泰铂效应成像的微结构放大装置，包括光源（1），在光源（1）的射出光路上设有汇聚透镜（2），在汇聚透镜（2）的射出光路上设有可相互切换的定标光路及放大光路，在光路修整结构的射出光路上设有样品放置台（6），在反射光路上设有反射泰铂成像屏（7）。本实用新型采用激光作为光源，通过光路修整激光的波形后，对不透明的周期结构样品进行照射，使照射后产生反射自成像。本实用新型可应用于各种激光微加工结构的观察与控制系统中，特别是在硅基上的光子晶体与波导的光子制备中，它能对真空腔中的样品实现在线的反射泰铂成像放大与显微分析，极大的简化了硅基上微结构的放大与显微工序，提高了生产效率。

主权项

一种利用反射泰铂效应成像的微结构放大装置，包括光源（1），其特征在于：在光源（1）的射出光路上设有汇聚透镜（2），在汇聚透镜（2）的射出光路上设有可相互切换的定标光路及放大光路，在光路修整结构的射出光路上设有样品放置台（6），在反射光路上设有反射泰铂像屏（7）。