| 发明名称 | 微机电系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种微机电系统，其用于检测围绕或沿X轴、Y轴和/或Z轴的加速度，具有基底且具有驱动模块和检测模块（1），所述驱动模块和检测模块在X-Y平面内与所述基底平行地设置并且相对于所述基底可移动地安装。至少一个缝槽（5）设置在驱动和/或检测模块（1）中以补偿因为驱动和/或检测模块（1）中残余材料应力的变形。 | ||
| 申请公布号 | CN103185576A | 申请公布日期 | 2013.07.03 |
| 申请号 | CN201210579786.8 | 申请日期 | 2012.12.27 |
| 申请人 | 马克西姆综合产品公司 | 发明人 | 亚历桑德鲁·罗基;阿道夫·詹巴斯蒂亚尼;洛伦佐·贝尔蒂尼 |
| 分类号 | G01C19/5733(2012.01)I;B81B3/00(2006.01)I;G01P15/18(2013.01)I | 主分类号 | G01C19/5733(2012.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 蔡胜利 |
| 主权项 | 一种用于检测围绕或沿着X轴、Y轴和/或Z轴的加速度的微机电系统，其具有基底以及驱动模块和检测模块（1），所述驱动模块和检测模块在X‑Y平面内与所述基底平行地安置并且相对于所述基底可移动地安装，其特征在于，至少一个缝槽（5）在驱动和/或检测模块（1）中设置以补偿驱动和/或检测模块（1）中因残余材料应力造成的变形。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||