发明名称 |
具有无源器件的封装件及其形成方法 |
摘要 |
本发明提供了一种器件,包括衬底、位于衬底上方的金属焊盘,以及具有位于金属焊盘上方部分的钝化层。钝化后互连(PPI)线设置在钝化层上方并且电耦合至金属焊盘。凸块底部金属(UBM)设置在PPI线上方并且电耦合至PPI线。无源器件包括位于与UBM相同水平面处的部分。无源器件的部分由与UBM相同的材料形成。本发明还提供了具有无源器件的封装件及其形成方法。 |
申请公布号 |
CN103187394A |
申请公布日期 |
2013.07.03 |
申请号 |
CN201210419270.7 |
申请日期 |
2012.10.26 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
余振华;侯上勇;叶德强;陈硕懋;叶炅翰;林仪柔 |
分类号 |
H01L23/522(2006.01)I;H01L23/64(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/522(2006.01)I |
代理机构 |
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 |
代理人 |
章社杲;孙征 |
主权项 |
一种器件,包括:衬底;金属焊盘,位于所述衬底上方;钝化层,包括位于所述金属焊盘上方的部分;钝化后互连(PPI)线,位于所述钝化层上方并且与所述金属焊盘电耦合;凸块底部金属(UBM),位于所述PPI线上方并且与所述PPI线电耦合;以及无源器件,包括与所述UBM处于相同水平的部分,所述无源器件的该部分由与所述UBM相同的材料形成。 |
地址 |
中国台湾新竹 |