| 发明名称 | 一种减反射膜制备炉的温度控制方法及装置 | ||
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种减反射膜制备炉的温度控制方法及装置，将减反射膜制备炉中每个炉管划分为若干个温区，根据每个炉管的物理结构和工艺特性，对每个温区分别设置一个中心温度值，再对中心温度值对应设置一个微调温度值，对每个温区的中心温度值进行微调，从而对每个炉管的温度单独进行控制，保证每个炉管都在最佳的温度下运行，提高了反射膜的均匀性。 | ||
| 申请公布号 | CN103187335A | 申请公布日期 | 2013.07.03 |
| 申请号 | CN201110448300.2 | 申请日期 | 2011.12.28 |
| 申请人 | 浚鑫科技股份有限公司 | 发明人 | 麻晓园 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 一种减反射膜制备炉的温度控制方法，其特征在于，包括：对每个炉管预先分成的若干个温区分别对应设置一个中心温度值；对每个炉管的每个温区设置一个微调温度值，所述微调温度值范围为‑10℃～10℃；将所述中心温度值与对应的所述微调温度值进行叠加。 | ||
| 地址 | 214443 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号 | ||