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发明名称
摘要
申请公布号
JP5228982(B2)
申请公布日期
2013.07.03
申请号
JP20090035591
申请日期
2009.02.18
申请人
发明人
分类号
H01L29/82;H01L21/8246;H01L27/105;H01L43/08
主分类号
H01L29/82
代理机构
代理人
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