发明名称
摘要
申请公布号 JP5228982(B2) 申请公布日期 2013.07.03
申请号 JP20090035591 申请日期 2009.02.18
申请人 发明人
分类号 H01L29/82;H01L21/8246;H01L27/105;H01L43/08 主分类号 H01L29/82
代理机构 代理人
主权项
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