一种降低阴影和硬质点的多晶硅铸锭热场结构及方法

摘要

本发明公开了一种降低阴影和硬质点的多晶硅铸锭热场结构，它包括隔热笼；所述隔热笼内设有底座；所述底座上设有石墨块；所述石墨块上设有由石墨护板包裹的坩埚；所述坩埚上方设有顶部加热器，坩埚四周环设有侧部加热器；所述侧部加热器的高度b为380～420mm；所述顶部加热器与侧部加热器顶端的垂直距离a为180～200mm。本发明还提供了一种利用前述设备降低阴影和硬质点的多晶硅铸锭方法，通过调整顶侧加热器的距离和侧加热器的高度，以及调节生长过程各个参数包括长晶时间、温度设定值、隔热笼提升值值等，来抑制硅锭中的阴影和硬质点的产生，提高硅锭的产品良率。

主权项

一种降低阴影和硬质点的多晶硅铸锭热场结构，其特征在于，它包括隔热笼（1）；所述隔热笼（1）内设有底座（9）；所述底座（9）上设有石墨块（8）；所述石墨块（8）上设有由石墨护板（4）包裹的坩埚（5）；所述坩埚（5）上方设有顶部加热器（2），坩埚（5）四周环设有侧部加热器（3）；所述侧部加热器（3）的高度b为380～420mm；所述顶部加热器（2）与侧部加热器（3）顶端的垂直距离a为180～200mm。