测量半导体机台的平台性能参数的辅助装置及方法

摘要

现有的测量半导体机台的平台性能参数的技术中，需要事先尝试确定平台运动到给定位置后的停留时间和测量设备的触发时间，或者在平台运动到给定位置后需要人工干预启动测量，本发明提出了测量半导体机台的平台性能参数的辅助装置及方法，该辅助装置包括：传感器，用于在平台被驱动至给定位置后，测量指示平台的运动状态的信号；处理器，用于根据信号判断平台是否已经稳定，在判断稳定后控制触发器产生触发信号；以及，触发器，用于向指示一平台性能参数的测量设备产生触发信号，指示该测量设备开始测量。本发明能自动地判断平台稳定，无需事先实验出停留时间和触发时间，也不需人工干预，同时保证了测量的准确性和快速性，实现了自动化测量。

主权项

一种用于测量半导体机台的平台性能参数的辅助装置，所述平台能够被驱动以运动，其特征在于，包括：‑传感器，用于在所述平台被驱动至给定位置后，测量指示所述平台的运动状态的信号；‑处理器，用于根据所述信号判断所述平台是否已经稳定，在判断稳定后控制触发器产生触发信号；以及‑触发器，用于向指示一平台性能参数的测量设备产生触发信号，该触发信号指示该测量设备开始测量所述平台的性能参数。