成膜装置和成膜方法

摘要

本发明提供了一种不论被层合制品的尺寸、形状和数量如何均能以优异的均匀性和良好的贴合性层合膜的成膜装置(100)和方法。所提供的成膜装置(100)具有第一腔室(10、11)、第二腔室(20、21)、框式膜保持构件(30、31)和辅助压膜工具(40、41、42)，所述第一腔室(10、11)设有加热装置(50、51)并能保持真空或加压状态，所述第二腔室(20、21)被设置成能与第一腔室(10、11)接合和分离、设有在其上支承制品(300、310、320)的可移动支承台(60、61)并能保持真空或加压状态，所述框式膜保持构件(30、31)设置在第一腔室(10、11)和第二腔室(20、21)之间用于保持膜(200、210)，所述辅助压膜工具(40、41、42)具有当膜(200、210)在制品(300、310、320)的表面上层合时抑制所述膜的隆起的压膜部分(42a)。

主权项

一种在制品的表面上层合膜的成膜装置，所述成膜装置包括：第一腔室，所述第一腔室具有加热装置并能保持真空或加压状态；第二腔室，所述第二腔室被设置成能与所述第一腔室接合和分离、设有在其上支承制品的可移动支承台并能保持真空或加压状态；框式膜保持构件，所述框式膜保持构件设置在所述第一腔室和所述第二腔室之间用于保持膜；和辅助压膜工具，所述辅助压膜工具具有当所述膜在所述制品的所述表面上层合时抑制所述膜的隆起的压膜部分。