用于驱动磁控管的扫描机构、磁控源和磁控溅射设备

摘要

本发明公开了一种用于驱动磁控管的扫描机构、磁控源和磁控溅射设备。扫描机构包括齿轮箱体；第一驱动轴；竖直地设置在齿轮箱体中的第二轴和第三轴，第二轴设置在第一驱动轴和第三轴之间，第三轴上设置有第三齿轮和第四齿轮，第一齿轮和第三齿轮啮合构成第一齿轮副，第二齿轮和第四齿轮啮合构成第二齿轮副，第三轴驱动磁控管围绕第三轴的轴线转动。第一齿轮副与第二齿轮副具有不同的齿速比，使磁控管能够在其运动迹线的外圈和内圈以不同速度运动。根据本发明实施例的扫描机构，通过控制磁控管在其内圈和外圈时具有不同的运动速度以平衡磁控管在内圈和外圈的相对有效时间，使磁控管在内圈和外圈的停留时间接近，从而提高靶材的利用率。

主权项

一种用于驱动磁控管的扫描机构，其特征在于，包括：齿轮箱体；第一驱动轴，所述第一驱动轴驱动所述齿轮箱体围绕所述第一驱动轴的轴线转动；竖直地设置在所述齿轮箱体中的第二轴和第三轴，所述第二轴设置在所述第一驱动轴和所述第三轴之间，所述第二轴上设置有第一齿轮和第二齿轮，所述第三轴上设置有第三齿轮和第四齿轮，所述第一齿轮和所述第三齿轮啮合构成第一齿轮副，所述第二齿轮和所述第四齿轮啮合构成第二齿轮副，所述第三轴驱动所述磁控管围绕所述第三轴的轴线转动，其中：所述第一齿轮副与所述第二齿轮副具有不同的齿速比，使所述磁控管能够在其运动迹线的外圈和内圈以不同速度运动。