发明名称 使用金属过孔(VIA)构成的电感设计
摘要 本发明用于集成电路内部的电感线圈设计,提出了一种使用金属过孔(VIA)构成的电感设计,可以提高线圈性能。
申请公布号 CN103187156A 申请公布日期 2013.07.03
申请号 CN201110448996.9 申请日期 2011.12.29
申请人 上海摩晶电子科技有限公司 发明人 不公告发明人
分类号 H01F37/00(2006.01)I;H01F41/00(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I 主分类号 H01F37/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种RF集成电路内部集成的电感设计,采用高密度的过孔连接两层金属,以形成高厚度的等效金属层。
地址 200235 上海市徐汇区钦州南路81号1911室