一种氮化硅坩埚用粉粒体的制备方法

摘要

本发明提供了一种氮化硅坩埚用粉粒体的制备方法，包括以下步骤：a)将由氮化硅粉和硅粉组成的混合粉体与无水乙醇混合，制成浆料，所述混合粉体的目数在325目以上，所述浆料的固含量为30％～50％；b)将所述浆料进行喷雾干燥造粒，经出料得到氮化硅坩埚用粉粒体。该制备方法采用无水乙醇等不含钠离子的原料进行喷雾干燥造粒，制得的氮化硅坩埚用粉粒体纯度高，利于制成高纯度的氮化硅坩埚，将其应用于单晶硅生产中不会污染晶体。进一步的，该制备方法制得的氮化硅坩埚用粉粒体无需进一步筛选，可直接应用于制备氮化硅坩埚中的成型工序，简化生产操作。

主权项

一种氮化硅坩埚用粉粒体的制备方法，包括以下步骤：a)将由氮化硅粉和硅粉组成的混合粉体与无水乙醇混合，制成浆料，所述混合粉体的目数在325目以上，所述浆料的固含量为30％～50％；b)将所述浆料进行喷雾干燥造粒，经出料得到氮化硅坩埚用粉粒体。