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发明名称
摘要
申请公布号 JP5229711(B2) 申请公布日期 2013.07.03
申请号 JP20060347710 申请日期 2006.12.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/316;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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