| 发明名称 | 支架载置台 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种支架载置台，在基板处理系统中该支架载置台排列玻璃基板以及/或者支架的位置，以便玻璃基板能够以排列并安装在支架上的状态被加载到基板装载盘上。根据本发明的支架载置台(100)用于装载并收纳支架(140)以及与该支架(140)相对应的玻璃基板(10)，该支架载置台(100)包括：同时排列支架(140)和玻璃基板(10)的对准部(200)，以及旋转上述对准部(200)的对准旋转部(150)。 | ||
| 申请公布号 | CN102016697B | 申请公布日期 | 2013.07.03 |
| 申请号 | CN200980114297.1 | 申请日期 | 2009.04.30 |
| 申请人 | 泰拉半导体株式会社 | 发明人 | 许官善 |
| 分类号 | G02F1/13(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/13(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人 | 陈英俊 |
| 主权项 | 一种支架载置台，用于装载并收纳支架以及与该支架相对应的玻璃基板，其特征在于，包括：对准部，其将上述支架和上述玻璃基板同时排列到规定位置上；以及对准旋转部，其旋转上述对准部；上述对准旋转部包括：对准旋转轴，上述对准部设置在该对准旋转轴上；以及对准致动器，其旋转上述对准旋转轴；上述对准部包括：支架对准部，其排列上述支架；以及玻璃对准部，其排列上述玻璃基板。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||