发明名称 Plasma film forming apparatus
摘要
申请公布号 EP2345751(B1) 申请公布日期 2013.07.03
申请号 EP20110150804 申请日期 2011.01.13
申请人 HONDA MOTOR CO., LTD. 发明人 YOROZUYA, SHUNICHI
分类号 C23C16/50;C23C16/455;C23C16/52 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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