发明名称 |
CMP终点检测方法与相变存储器底部接触结构形成方法 |
摘要 |
本发明提供一种相变存储器底部接触结构的形成方法,包括:提供表面形成有至少两个导电插塞结构的晶片;在该晶片的表面依次淀积刻蚀终止层、第一介电层、第二金属层;光刻、刻蚀第二金属层、第一介电层与刻蚀终止层形成开口,该开口的两个相对的侧壁分别落在两个导电插塞上;淀积第一金属层;去除相邻导电插塞之间的第一金属层;淀积第二介电层,填充所述开口;依次研磨第二介电层、第一金属层、第二金属层形成相变存储器底部接触结构,所述研磨过程中,采用感应电流法检测研磨终点。本发明还提供一种化学机械研磨终点的检测方法,不限于相变存储器底部接触结构的制作。采用本发明的技术方案,对研磨终点的判断准确,且对硬件的要求低。 |
申请公布号 |
CN103187328A |
申请公布日期 |
2013.07.03 |
申请号 |
CN201110446097.5 |
申请日期 |
2011.12.27 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
朱普磊;蒋莉;黎铭琦;曹均助 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01)I;H01L45/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
骆苏华 |
主权项 |
一种化学机械研磨终点的检测方法,其特征在于,包括:提供待研磨晶片,所述待研磨晶片表面具有第一介电层;在所述第一介电层上淀积第一金属层;在所述第一金属层上淀积第二金属层;在所述第二金属层上淀积第二介电层;依次研磨所述第二介电层、第二金属层、第一金属层;采用感应电流法检测所述研磨终点。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |