一种镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种镀膜设备，在该设备中可形成氧化层和氮化层的叠层，且所述氧化层为低温氧化层，该设备包括：反应腔室；与该反应腔室相连的气体管路，该气体管路连接氧化性气体源，该气体管路为在常规镀膜设备上新增的气体管路。本实用新型实施例通过在镀膜设备中引入氧化性气体管路，可以在此种镀膜设备中形成氧化层和氮化层的叠层结构，进一步提高减反射膜的钝化作用，从而提高太阳能电池的转化效率；并且将氧化层和氮化层的制作过程集成在一个镀膜设备中，此种镀膜设备避免在叠层结构制作过程中增加额外设备成本，简化了制作工艺，方便投入大规模生产。

主权项

一种镀膜设备，其特征在于，在该设备中可形成氧化层和氮化层的叠层，且所述氧化层为低温氧化层，该设备包括： 反应腔室； 与该反应腔室相连的气体管路，该气体管路连接氧化性气体源，该气体管路为在离子束蒸发设备、磁控溅射设备、APCVD设备、LPCVD设备或PECVD设备上新增的气体管路。