一种MOCVD设备的备件烘烤治具

摘要

本实用新型公开了一种MOCVD设备的备件烘烤治具，包括定位板；所述定位板为两组，呈对称间隔设置，包括卡设住备件中部的上定位板及卡设主备件底部的下定位板，所述两组定位板两侧连接安装有散热挡板，所述散热挡板中部开设有位置相同的散热孔。本实用新型结构简单，操作方便，不仅能够稳定的支撑住在烘烤时备件，而且对烘烤时温度的均匀度影响也较小，散热挡板的设置能够有效排出气化后的沉积物，提高了沉积物的清除效果。

主权项

一种MOCVD设备的备件烘烤治具，包括定位板，其特征在于：包所述定位板为两组，呈对称间隔设置，包括卡设住备件中部的上定位板及卡设主备件底部的下定位板，所述两组定位板两侧连接安装有散热挡板，所述散热挡板中部开设有位置相同的散热孔。