基板输送装置及基板输送装置的控制方法

摘要

本发明提供一种基板输送装置，基板输送装置(100)将载置在机械手部(10)上的基板W输送给处理装置或者规定的收容部，其中，具备支承作为上述机械手部(10)的一端的根部侧并且使上述机械手部(10)在其延长方向往复移动的移动组件(20)；检测伴随在上述机械手部(10)上载置上述基板时的挠曲的上述机械手部(10)的前端部的相对于水平方向的倾斜的倾斜检测组件(30)；使上述机械手部(10)整体俯仰摆动，以便消除上述机械手部(10)的上述前端部的倾斜的倾斜修正组件(40)。

主权项

一种基板输送装置，该基板输送装置将载置在机械手部上的基板输送给处理装置或者规定的收容部，其特征在于，具备： 移动组件，该移动组件支承作为上述机械手部的一端的根部侧，并且使上述机械手部在其延长方向往复移动； 倾斜检测组件，该倾斜检测组件通常检测使机械手部移动时及将上述基板载置在上述机械手部上时的伴随上述机械手部的挠曲的其前端部的相对于水平方向的倾斜； 倾斜修正组件，该倾斜修正组件在消除上述机械手部的上述前端部的倾斜的方向使上述机械手部整体进行俯仰摆动； 控制组件，该控制组件为了在消除上述机械手部的前端部的倾斜的状态下使上述机械手部移动，对上述倾斜修正组件的俯仰摆动进行控制， 上述倾斜检测组件具有： 照射组件，该照射组件向上述机械手部的前端部照射光线； 反射组件，该反射组件设置在上述机械手部的前端附近，反射上述光线； 偏移量检测组件，该偏移量检测组件接受由上述反射组件反射的光线，检测其受光位置和预定的受光基准位置的偏移量。