Microespejo MEMS de escaneado

摘要

Microespejo MEMS de escaneado que comprende un cuerpo (50) del microespejo que tiene un eje de rotación y un par de barras de prolongación (56) paralelas al ejede rotación (58), teniendo un eje X perpendicular al eje de rotación en el plano del espejo cuando el espejo está enreposo, estando definido el plano del espejo por medio de una cara del microespejo; un armazón (60) que forma un rebaje (62) del espejo con una periferia (64) del rebaje, teniendo el armazón (60) unpar de barras opuestas (66) del armazón en la periferia (64) del rebaje a lo largo del eje de rotación (58);medios para proporcionar rigidez a la torsión al cuerpo (50) del microespejo alrededor del eje de rotación (58) ymedios para soportar el cuerpo del microespejo en el armazón que comprenden un par de barras verticales desoporte (40) conectadas, entre cada una de las barras del par de barras opuestas (66) del armazón, al cuerpo (50)del espejo a lo largo del eje de rotación (58), caracterizado porque los medios para proporcionar la rigidez a la torsión al cuerpo del microespejo alrededor deleje de rotación comprenden un par de conjuntos (70) de barras en voladizo, estando fijado cada par de conjuntos(70) de barras en voladizo a una barra del par de barras opuestas (66) del armazón y acoplados a una barra del parde barras de prolongación (56) a través de una conexión flexible (74) que permite una deformación en la direccióndel eje X.