正型光阻组成物及使用它之图案形成方法

摘要

一种光阻组成物，其包括：(A)一种含由式(I)表示之重复单元的树脂；及(B)一种在以光化射线或辐射照射时可产生酸之化合物：;其中AR表示苯环或萘环；R表示氢原子、烷基、环烷基、或芳基；Z表示用于与AR一起形成环之键联基；及A表示选自氢原子、烷基、卤素原子、氰基、与烷氧基羰基之原子或基，及一种使用此光阻组成物之图案形成方法。